原子层沉积系统招标预告
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原子层沉积系统招标预告
| 原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 原子层沉积系统主要用于沉积出薄膜材料，例如Ⅱ-Ⅵ化合物、Ⅱ-Ⅵ基TFEL磷光材料、Ⅲ-V化合物、氮(碳)化物、半导体/介电材料、氧化物介电层、其他 * 元材料、单质材料。原子层沉积系统主要由腔体、气体管路、加热前驱源系统、真空系统、 (略) 分组成。原子层沉积系统（ALD）是半导体器件、半导体材料的制备及集成电路工艺的基础性必备设备，主要用于生长金属氧化物，目前已被广泛的应用于微电子、物理、化学、材料、信息、生物和医学等多个学科领域。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 原子层沉积系统主要用于沉积出薄膜材料，例如Ⅱ-Ⅵ化合物、Ⅱ-Ⅵ基TFEL磷光材料、Ⅲ-V化合物、氮(碳)化物、半导体/介电材料、氧化物介电层、其他 * 元材料、单质材料。原子层沉积系统主要由腔体、气体管路、加热前驱源系统、真空系统、 (略) 分组成。原子层沉积系统（ALD）是半导体器件、半导体材料的制备及集成电路工艺的基础性必备设备，主要用于生长金属氧化物，目前已被广泛的应用于微电子、物理、化学、材料、信息、生物和医学等多个学科领域。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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