-反应腔室1套招标预告
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-反应腔室1套招标预告
| 等离子体增强化学气相沉积 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 反应腔室1套，真空获得系统1套，下电极1套；射频电源及匹配器1套，频率 * . * MHz，选配 * kHz低频射频电源，反应气路及质量流量计，真空检测系统1套，电气控制系统 1套，控制软件 1套，选配loadlock自动传输系统。 * 年4月到货，现场调试时间不小于两周，验收完成以后保修期3年。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 等离子体增强化学气相沉积 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 反应腔室1套，真空获得系统1套，下电极1套；射频电源及匹配器1套，频率 * . * MHz，选配 * kHz低频射频电源，反应气路及质量流量计，真空检测系统1套，电气控制系统 1套，控制软件 1套，选配loadlock自动传输系统。 * 年4月到货，现场调试时间不小于两周，验收完成以后保修期3年。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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