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（ * ）采购标的名称磁控溅射镀膜系统（ * ）采购标的需实现的主要功能或者目标系统支持多种溅射方式，配备薄膜振动测量模块， (略) 磁性测量。在溅射的放电气氛中加入氧、氮或其它活性气体，可沉积形成靶材物质与气体分子的化合物薄膜。通过精确地控制溅射镀膜过程，容易获得均匀的高精度的膜厚，溅射镀膜速度快，膜层致密，附着性好等。系统具有多功能性和大批量生产能力，即适合于也适合高效率、高通量的试验方案，也适合灵活多变的小比量试验方案。（ * ）采购标的数量磁控溅射镀膜系统 1台（ * ）采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等 (略) 期限：自合同签订之日起 * 年内完成供货、安装、调试并具备验收条件质保期限：提供 * 年保修，从设备安装验收合格之日起计算维修响应 ：卖方维修工程师在接到在买方设备故障通知后4小时内给予电话、传真或电子邮件答复，给出解决办法。若无法通过远程交流解决问题，卖方工程师将应客户要求 * 小时内 (略) (略) 培训：卖方在设备安装调试期间为买方操作及维修 (略) 培训，培训内容包括设备操作、维护、工艺编程、 (略) 件的更换和 (略) 理，使其能够正常使用和维护设备

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