中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年7至12月政府采购意向-多功能原子层沉积系统-名称多功能原子层沉积系统；数量1台/套；主要功能和目标配置热
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2022年7至12月政府采购意向-多功能原子层沉积系统-名称多功能原子层沉积系统；数量1台/套；主要功能和目标配置热
| 多功能原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) 2022年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) |
| 采购项目名称： | 多功能原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 名称：多功能原子层沉积系统；数量：1台/套；主要功能和目标：配置热型ALD和Plasma ALD系统，主要适用于8寸及以下样品，各类氧化物、氮化物及金属薄膜的原子层薄膜沉积。设备配置预真空腔LoadLock和样品传输模块Transfer Module，既保证工艺腔的高真空环境，又能提高工艺效率；腔体结构设计为真空腔+反应腔的形式，便于腔体的维护；样品和反应腔工艺温度可达450℃；配置臭氧发生器系统；配置等离子体系统。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 多功能原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) 2022年7至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳 (略) |
| 采购项目名称： | 多功能原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 点击查看>> 00万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他电工、电子专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 名称：多功能原子层沉积系统；数量：1台/套；主要功能和目标：配置热型ALD和Plasma ALD系统，主要适用于8寸及以下样品，各类氧化物、氮化物及金属薄膜的原子层薄膜沉积。设备配置预真空腔LoadLock和样品传输模块Transfer Module，既保证工艺腔的高真空环境，又能提高工艺效率；腔体结构设计为真空腔+反应腔的形式，便于腔体的维护；样品和反应腔工艺温度可达450℃；配置臭氧发生器系统；配置等离子体系统。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | 以实际公告为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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