高精度光学薄膜沉积设备招标预告

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高精度光学薄膜沉积设备招标预告


高精度光学薄膜沉积设备
项目所在采购意向:同济大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位:同济大学
采购项目名称:高精度光学薄膜沉积设备
预算金额:1000.*万元(人民币)
采购品目:
A9999其他不另分类的物品
采购需求概况 :
高精度光学薄膜沉积设备采购,电子束蒸发或离子束辅助制备近紫外至红外波段各类介质光学薄膜,蒸镀各种金属薄膜,比如金、银、铜和铬等材料,采购数量两台,设备配备高真空系统,光学监控系统等,可实现光学薄膜厚度的高精度制备。规格参数:真空室:SUS304,φ1800mm×1920mm (H);工件架:D1600mm;工件架转速:10rpm to 30rpm(可变);光学膜厚监控:*-VIS350A光学膜厚监控仪,波长范围:350nm to 1100nm;反射式或透射式;石英晶振膜厚计:XTC/3+6点式石英晶体传感器;蒸发源:电子枪2套;离子源:23cmRF离子源;排气系统:机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
预计采购时间:2022-11
备注:


高精度光学薄膜沉积设备
项目所在采购意向:同济大学2022年10至12月政府采购意向
采购单位:同济大学
采购项目名称:高精度光学薄膜沉积设备
预算金额:1000.*万元(人民币)
采购品目:
A9999其他不另分类的物品
采购需求概况 :
高精度光学薄膜沉积设备采购,电子束蒸发或离子束辅助制备近紫外至红外波段各类介质光学薄膜,蒸镀各种金属薄膜,比如金、银、铜和铬等材料,采购数量两台,设备配备高真空系统,光学监控系统等,可实现光学薄膜厚度的高精度制备。规格参数:真空室:SUS304,φ1800mm×1920mm (H);工件架:D1600mm;工件架转速:10rpm to 30rpm(可变);光学膜厚监控:*-VIS350A光学膜厚监控仪,波长范围:350nm to 1100nm;反射式或透射式;石英晶振膜厚计:XTC/3+6点式石英晶体传感器;蒸发源:电子枪2套;离子源:23cmRF离子源;排气系统:机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
预计采购时间:2022-11
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