复旦大学2022年12月政府采购意向-快速热退火设备-A032103电子工业专用生产设备-预算金额500.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-快速热退火设备-A032103电子工业专用生产设备-预算金额500.000000万元(人民币)
| 快速热退火设备 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 快速热退火设备 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 快速热退火设备主要用于集成电路工艺中ALD High-K栅介质的薄膜退火，离子注入后的激活以及欧姆接触的形成工艺。拟购置的快速热退火设备，样品最大尺寸：8英寸；温度范围：室温~1300度；升温速率：0.1度~200 度/秒 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 快速热退火设备 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 快速热退火设备 |
| 预算金额： | 500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 快速热退火设备主要用于集成电路工艺中ALD High-K栅介质的薄膜退火，离子注入后的激活以及欧姆接触的形成工艺。拟购置的快速热退火设备，样品最大尺寸：8英寸；温度范围：室温~1300度；升温速率：0.1度~200 度/秒 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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