复旦大学2022年12月政府采购意向-离子束刻蚀-A032103电子工业专用生产设备-预算金额1000.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-离子束刻蚀-A032103电子工业专用生产设备-预算金额1000.000000万元(人民币)
| 离子束刻蚀 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 离子束刻蚀 |
| 预算金额： | 1000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | (1)气体种类：CF4、Cl2、HBr、SF6、SiCl4、BCl3等；(2)射频电源：(1)ICP电源13.56MHz, 1200W(2)偏压电源13.56MHz, 600W(3)工艺温度：-20℃到80℃可控；(4)最大晶圆尺寸：8 inch，且向下兼容；(5)均匀性：≤5%(6)刻蚀材料：金属薄膜（如铝、镍、铬、钛等）、多晶硅和Ⅲ-Ⅴ族化合物等。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 离子束刻蚀 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 离子束刻蚀 |
| 预算金额： | 1000.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | (1)气体种类：CF4、Cl2、HBr、SF6、SiCl4、BCl3等；(2)射频电源：(1)ICP电源13.56MHz, 1200W(2)偏压电源13.56MHz, 600W(3)工艺温度：-20℃到80℃可控；(4)最大晶圆尺寸：8 inch，且向下兼容；(5)均匀性：≤5%(6)刻蚀材料：金属薄膜（如铝、镍、铬、钛等）、多晶硅和Ⅲ-Ⅴ族化合物等。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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