复旦大学2022年12月政府采购意向-单晶衬底生长系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额570.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-单晶衬底生长系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额570.000000万元(人民币)
| 单晶衬底生长系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 单晶衬底生长系统 |
| 预算金额： | 570.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 最高温度：3000℃以上，晶体提拉行程：200mm，旋转速度（可调）：1-10°/min，可通氩气、氧气等各种高纯气体气氛或者混合气体气氛，气体流速：0.1-500 sccm，腔体压力：2.0 bar，真空度：10-6 Torr，提拉生长速度：0.1-100 mm/h，转动速度:0-10rpm，行程：400 mm。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 单晶衬底生长系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 单晶衬底生长系统 |
| 预算金额： | 570.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 最高温度：3000℃以上，晶体提拉行程：200mm，旋转速度（可调）：1-10°/min，可通氩气、氧气等各种高纯气体气氛或者混合气体气氛，气体流速：0.1-500 sccm，腔体压力：2.0 bar，真空度：10-6 Torr，提拉生长速度：0.1-100 mm/h，转动速度:0-10rpm，行程：400 mm。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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