复旦大学2022年12月政府采购意向-双光子三维光刻系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额480.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-双光子三维光刻系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额480.000000万元(人民币)
| 双光子三维光刻系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 双光子三维光刻系统 |
| 预算金额： | 480.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 三维光刻系统是微纳加工“流程化”工艺中不可缺少的关键三维结构曝光设备，是微纳米三维结构制备的主要技术，对三维立体结构的制备起着不可替代的作用。三维光刻系统可以满足我校在微纳加工方面较高的技术需求（如大面积的纳米精度、三维立体工艺等），并使微纳加工工艺达到较完备的水平。三维光刻系统可以满足我校500nm以下的精密微纳米光电器件、光子晶体、人工超材料、新量子材料与器件等的加工和制备，还有助于微光学、微流通道、材料科学等领域的前沿课题研究。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 双光子三维光刻系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 双光子三维光刻系统 |
| 预算金额： | 480.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 三维光刻系统是微纳加工“流程化”工艺中不可缺少的关键三维结构曝光设备，是微纳米三维结构制备的主要技术，对三维立体结构的制备起着不可替代的作用。三维光刻系统可以满足我校在微纳加工方面较高的技术需求（如大面积的纳米精度、三维立体工艺等），并使微纳加工工艺达到较完备的水平。三维光刻系统可以满足我校500nm以下的精密微纳米光电器件、光子晶体、人工超材料、新量子材料与器件等的加工和制备，还有助于微光学、微流通道、材料科学等领域的前沿课题研究。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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