复旦大学2022年12月政府采购意向-金属刻蚀机-A032103电子工业专用生产设备-预算金额130.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-金属刻蚀机-A032103电子工业专用生产设备-预算金额130.000000万元(人民币)
| 金属刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 金属刻蚀机 |
| 预算金额： | 130.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 在真空低气压下，以一定比例的混合刻蚀气体经ICP耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，在下电极的RF 射频作用下，这些等离子体对基片表面进行轰击，形成各向异性的刻蚀。用于曝光完成后，配合掩模在基底上刻蚀出对应的图形。该设备是本科生微电子器件流片、教学不可或缺的工具，同时可以满足基本科研需求 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 金属刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 金属刻蚀机 |
| 预算金额： | 130.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 在真空低气压下，以一定比例的混合刻蚀气体经ICP耦合辉光放电，产生高密度的等离子体，在下电极的RF 射频作用下，这些等离子体对基片表面进行轰击，形成各向异性的刻蚀。用于曝光完成后，配合掩模在基底上刻蚀出对应的图形。该设备是本科生微电子器件流片、教学不可或缺的工具，同时可以满足基本科研需求 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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