复旦大学2022年12月政府采购意向-等离子体辅助原子层沉积系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额240.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-等离子体辅助原子层沉积系统-A032103电子工业专用生产设备-预算金额240.000000万元(人民币)
| 等离子体辅助原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体辅助原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 240.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 双腔型等离子体设备较传统单腔型ALD，其优势在于可以生长高质量氮化物和金属单质薄膜，同时也能兼容普通热型功能，性能十分突出，而这些工艺正是目前集成电路领域需要普及的一些关键技术，所以急需将这一设备的使用，研发和推广列入教学领域。这款国产等离子体辅助型原子层沉积系统具有操作简单，通用性强，易于维护，延展性强等特点，非常适合作为学生实验课程的教学仪器。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 等离子体辅助原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体辅助原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 240.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 双腔型等离子体设备较传统单腔型ALD，其优势在于可以生长高质量氮化物和金属单质薄膜，同时也能兼容普通热型功能，性能十分突出，而这些工艺正是目前集成电路领域需要普及的一些关键技术，所以急需将这一设备的使用，研发和推广列入教学领域。这款国产等离子体辅助型原子层沉积系统具有操作简单，通用性强，易于维护，延展性强等特点，非常适合作为学生实验课程的教学仪器。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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