上海原子层沉积招标预告

互联智能制备测试一体化集成系统包含双工位手套箱21台热蒸镀设备4台（其中2台适用于双源共蒸）磁控溅射...(原子层沉积在正文或附件中)

（1）真空内外双腔结构；(原子层沉积在正文或附件中)

拟采购1台原子层沉积仪用于实现介质及金属薄膜的原子层沉积尺寸不小于8寸晶圆且向下兼容实现热法、等离子...(原子层沉积在正文或附件中)

拟采购1台原子层沉积仪用于实现介质及金属薄膜的原子层沉积尺寸不小于8寸晶圆且向下兼容实现热法、等离子...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积（ALD）是一种高度精密和可控的薄膜制备技术常用于制备纳米级薄膜、半导体器件和光电子器件。...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料例如Ⅱ-Ⅵ化合物、Ⅱ-Ⅵ基TFEL磷光材料、Ⅲ-V化合物、氮(碳...(原子层沉积在正文或附件中)

采购内容包括：工业互联网综合实验平台基于深度视觉抓取移动作业开源机器人（高级版）开源六自由度协作机器...(原子层沉积在正文或附件中)

主要设备:光刻机(1套)薄膜生长设备【包括氧化炉(1套)、PVD设备(1套)、原子层沉积设备(1套)...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积系统是一种用于实现精确控制薄膜材料沉积的高精度设备。其主要目的是通过原子层沉积技术实现单原...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积设备 1套。用于微电子材料原子层沉积实验。进行微电子材料的沉积工作。1.腔体结构采用真空腔...(原子层沉积在正文或附件中)

可在高深宽比结构上沉积疏水有机物薄膜。同时具有普通的原子层沉积能力。具有5个蒸气传输管道(原子层沉积在正文或附件中)

政府采购意向公告 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工...(原子层沉积在正文或附件中)

利用本设备将在国内首先开展原子层沉积制备氟化物薄膜的研究实现100-135nm波段高效率反射推动我国...(原子层沉积在正文或附件中)

以原子单层级别逐层反应的方法在基底上高保型的生长致密的几个nm到几十nm氧化铝、氧化铪、氧化锆等氧化...(原子层沉积在正文或附件中)

双腔型等离子体设备较传统单腔型ALD其优势在于可以生长高质量氮化物和金属单质薄膜同时也能兼容普通热型...(原子层沉积在正文或附件中)

专用用于Ti、TiN、Ta、TaN、W、Cu等金属的原子层沉积特别是高深宽比沟槽金属薄层的沉积配置半...(原子层沉积在正文或附件中)

用于集成电路工艺的薄膜材料制备具有厚度高度可控、优异的均匀性及良好的保形性具有热原子层沉积、等离子体...(原子层沉积在正文或附件中)

用于先进半导体器件制备原子层沉积(原子层沉积在正文或附件中)

贴息贷款采购科研教学用设备(原子层沉积在正文或附件中)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔202...(原子层沉积在正文或附件中)

主要功能：将物质以单原子膜形式一层一层的镀在粉末、晶圆等基底表面。数量：1保修时间大于两年使用寿命大...(原子层沉积在正文或附件中)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔202...(原子层沉积在正文或附件中)

科研教学用设备(原子层沉积在正文或附件中)

规格参数：Beneq(原子层沉积在正文或附件中)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔202...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）的采购可以实现埃量级薄膜厚度的精确制备膜层致密将在国内首先开展原子...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积系统1台。用于特种光纤制备定制化三层嵌套腔体管式炉针对不同直径尺寸石英管有效镀膜区域500...(原子层沉积在正文或附件中)

采购壹台原子层沉积系统主要沉积各种高质量的纳米薄膜。(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积设备主要用于沉积出薄膜材料满足沉积Al2O3、HfO2、ZrO2等薄膜材料的需要。原子层沉...(原子层沉积在正文或附件中)

原子层沉积系统采用多靶溅射可以在超高真空的环境下制备具有高均匀性和高平整性的薄膜。(原子层沉积在正文或附件中)