复旦大学2022年12月政府采购意向-介质刻蚀机-A032103电子工业专用生产设备-预算金额100.000000万元(人民币)
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复旦大学2022年12月政府采购意向-介质刻蚀机-A032103电子工业专用生产设备-预算金额100.000000万元(人民币)
| 介质刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 介质刻蚀机 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀。用于曝光完成后，配合掩模在基底上刻蚀出对应的图形。该设备是本科生微电子器件流片、教学不可或缺的工具，同时可以满足基本科研需求 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 介质刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 介质刻蚀机 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 在真空系统中利用分子气体等离子来进行刻蚀的，利用了离子诱导化学反应来实现各向异性刻蚀。用于曝光完成后，配合掩模在基底上刻蚀出对应的图形。该设备是本科生微电子器件流片、教学不可或缺的工具，同时可以满足基本科研需求 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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