清华大学2022年12月政府采购意向-磁控溅射系统-A02100709其他试验仪器及装置-预算金额219.500000万元(人民币)
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清华大学2022年12月政府采购意向-磁控溅射系统-A02100709其他试验仪器及装置-预算金额219.500000万元(人民币)
| 磁控溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射系统 |
| 预算金额： | 219.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购磁控溅射系统1台，技术参数要求：三路气体（Ar，N2，O2），1个直流电源、1个射频电源、4个溅射靶材（2个直流2个射频），适用于小碎片到4英寸衬底，成膜均匀性优于±5%，重复性±5%，基片加热温度800℃以上 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 磁控溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射系统 |
| 预算金额： | 219.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购磁控溅射系统1台，技术参数要求：三路气体（Ar，N2，O2），1个直流电源、1个射频电源、4个溅射靶材（2个直流2个射频），适用于小碎片到4英寸衬底，成膜均匀性优于±5%，重复性±5%，基片加热温度800℃以上 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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