清华大学2022年12月政府采购意向-激光直写设备-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额600.000000万元(人民币)
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清华大学2022年12月政府采购意向-激光直写设备-A02100699其他试验仪器及装置-预算金额600.000000万元(人民币)
| 激光直写设备 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写设备 |
| 预算金额： | 600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购激光直写设备1套，技术参数需求：硬件部分：激光器：能量300mW, 波长405nm精细直写头 CD=0.3μm 高精度直写头 CD=0.6μm 中精度直写头CD=1 μm 普通精度直写头CD=2 μm 灰度曝光模式 Levels=255背向对准功能软件部分：图形修正软件BEAMER——优化图形设计，邻界效益矫正 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 激光直写设备 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写设备 |
| 预算金额： | 600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 拟采购激光直写设备1套，技术参数需求：硬件部分：激光器：能量300mW, 波长405nm精细直写头 CD=0.3μm 高精度直写头 CD=0.6μm 中精度直写头CD=1 μm 普通精度直写头CD=2 μm 灰度曝光模式 Levels=255背向对准功能软件部分：图形修正软件BEAMER——优化图形设计，邻界效益矫正 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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