激光直写系统项目所在采购意向：zycgr*年12月政府采购意向采购单位：zycgr*采购项目名称：激光直写系统预算金额：170.*万元(人民币)采购品目：
A*其他专用仪器仪表采购需求概况 ：
（1）支持最大样品尺寸为230mm x 230mm x 15mm，最大曝光区域范围195mm x 195mm ；（2）具有多种曝光精度写头以适应不同图形曝光，包含0.4μm, 0.6μm, 1μm, 2μm 以及 5μm共五种曝光写头，其中0.6μm写头的曝光速度达到17 mm2/minute；（3）双光路设计，可实现365nm和405nm 波长双光源自动切换，满足多样化光刻胶不同波长光源的最佳曝光精度要求；（4）激光干涉仪XY方向分辨率达到1nm，XY方向最小位移步长4nm；（5）具备制版功能；（6）支持255阶灰度曝光。除以上技术指标外，拟采购激光直写系统需具备：全自动一键切换曝光写头；全自动一键切换光束。预计采购时间：2022-12备注：

激光直写系统项目所在采购意向：zycgr*年12月政府采购意向采购单位：zycgr*采购项目名称：激光直写系统预算金额：170.*万元(人民币)采购品目：
A*其他专用仪器仪表采购需求概况 ：
（1）支持最大样品尺寸为230mm x 230mm x 15mm，最大曝光区域范围195mm x 195mm ；（2）具有多种曝光精度写头以适应不同图形曝光，包含0.4μm, 0.6μm, 1μm, 2μm 以及 5μm共五种曝光写头，其中0.6μm写头的曝光速度达到17 mm2/minute；（3）双光路设计，可实现365nm和405nm 波长双光源自动切换，满足多样化光刻胶不同波长光源的最佳曝光精度要求；（4）激光干涉仪XY方向分辨率达到1nm，XY方向最小位移步长4nm；（5）具备制版功能；（6）支持255阶灰度曝光。除以上技术指标外，拟采购激光直写系统需具备：全自动一键切换曝光写头；全自动一键切换光束。预计采购时间：2022-12备注：