激光直写机项目所在采购意向：zycgr*年12月政府采购意向采购单位：zycgr*采购项目名称：激光直写机预算金额：400.*万元(人民币)采购品目：
A*其他专用仪器仪表采购需求概况 ：
SFQ器件的工艺研发工艺进入亚微米尺度，目前在用的EVG紫外曝光机目前只能稳定的实现~3.5微米约瑟夫森结，无法满足SFQ器件中小约瑟夫森结的研制需求。拟采购一台激光直写曝光机，实现亚微米尺度曝光预计采购时间：2022-12备注：

激光直写机项目所在采购意向：zycgr*年12月政府采购意向采购单位：zycgr*采购项目名称：激光直写机预算金额：400.*万元(人民币)采购品目：
A*其他专用仪器仪表采购需求概况 ：
SFQ器件的工艺研发工艺进入亚微米尺度，目前在用的EVG紫外曝光机目前只能稳定的实现~3.5微米约瑟夫森结，无法满足SFQ器件中小约瑟夫森结的研制需求。拟采购一台激光直写曝光机，实现亚微米尺度曝光预计采购时间：2022-12备注：