原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）招标预告
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原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物）招标预告
| 原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物） | |
| 项目所在采购意向： | 同济大学2023年2月政府采购意向 |
| 采购单位： | 同济大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物） |
| 预算金额： | 478.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况 ： | 利用本设备将在国内首先开展原子层沉积制备氟化物薄膜的研究，实现100-135nm波段高效率反射，推动我国远紫外观测技术的发展。 |
| 预计采购时间： | 2023-02 |
| 原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物） | |
| 项目所在采购意向： | 同济大学2023年2月政府采购意向 |
| 采购单位： | 同济大学 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积ALD镀膜设备（氟化物） |
| 预算金额： | 478.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况 ： | 利用本设备将在国内首先开展原子层沉积制备氟化物薄膜的研究，实现100-135nm波段高效率反射，推动我国远紫外观测技术的发展。 |
| 预计采购时间： | 2023-02 |
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