低温电子束镀膜机招标预告
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低温电子束镀膜机招标预告
| 低温电子束镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 低温电子束镀膜机 |
| 预算金额： | 290.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购一台，该设备主要用于沉积硅基半导体量子芯片的金属栅电极薄膜，需要达到以下条件： 1、沉积腔的真空度达到10e-8 torr及更高； 2、沉积薄膜批内和批间的均匀性达到±3%@4英寸或更优； 3、样品工件盘外接制冷机，工件盘最低温度可到-60℃，稳定性±1℃； 4、最大支持8英寸，向下兼容碎片； |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 低温电子束镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 低温电子束镀膜机 |
| 预算金额： | 290.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购一台，该设备主要用于沉积硅基半导体量子芯片的金属栅电极薄膜，需要达到以下条件： 1、沉积腔的真空度达到10e-8 torr及更高； 2、沉积薄膜批内和批间的均匀性达到±3%@4英寸或更优； 3、样品工件盘外接制冷机，工件盘最低温度可到-60℃，稳定性±1℃； 4、最大支持8英寸，向下兼容碎片； |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
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