东南大学2023年3至12月政府采购意向-碳化硅外延炉-A020699其他电气设备-预算金额1500.000000万元(人民币)
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东南大学2023年3至12月政府采购意向-碳化硅外延炉-A020699其他电气设备-预算金额1500.000000万元(人民币)
| 碳化硅外延炉 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2023年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 碳化硅外延炉 |
| 预算金额： | 1500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况： | 1.晶片尺寸兼容6″、4″2.产能≥300片/月（以10μm厚计）3.工艺温度1600℃～1650℃4.温度控制精度≤±0.5℃1.厚度均匀性：片内≤2%，批间≤2%；掺杂均匀性：片内≤5%，批间≤5% |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 碳化硅外延炉 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2023年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 碳化硅外延炉 |
| 预算金额： | 1500.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况： | 1.晶片尺寸兼容6″、4″2.产能≥300片/月（以10μm厚计）3.工艺温度1600℃～1650℃4.温度控制精度≤±0.5℃1.厚度均匀性：片内≤2%，批间≤2%；掺杂均匀性：片内≤5%，批间≤5% |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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