zycgr210708012023年4至12月政府意向-高精度激光直写光刻机-A02100309激光仪器-预算金额450.000000万元(人民币)招标预告
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zycgr210708012023年4至12月政府意向-高精度激光直写光刻机-A02100309激光仪器-预算金额450.000000万元(人民币)招标预告
| 高精度激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 高精度激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 450.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 该设备主要用于实现硅基半导体量子芯片引线电极的图形化生成，需要达到以下条件： 1、最佳图形生成分辨率达到0.6微米及以下； 2、最大支持基片尺寸达到8英寸； 3、样品台移动精度达到10纳米； |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 高精度激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 高精度激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 450.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 该设备主要用于实现硅基半导体量子芯片引线电极的图形化生成，需要达到以下条件： 1、最佳图形生成分辨率达到0.6微米及以下； 2、最大支持基片尺寸达到8英寸； 3、样品台移动精度达到10纳米； |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
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