A*其他光学仪器

名称：混合离子束溅射薄膜沉积系统型号：Leybold Optics IBS1400 HT主要功能：全自动控制的离子束溅射镀膜系统，采用双离子束溅射沉积的方式，可镀制金属膜(如Al、Ta、Nb、Hf等) 、氧化物膜(如SiO2等）、氮化物/氟化物等。数量：1套主要参数：总损耗（吸收+散射+透射）≤20ppm（通过CRD测量），吸收损失≤10ppm（激光量热计测量），反射率(min)@1064nm≥99.998%。采购周期：14个月质保：终验收合格后至少提供12个月的质量保证期服务：卖方负责设备的安装、调试及培训，售后收到用户通知后24小时内予以答复。安全要求：具有水、气、压力、冷却水流量、水温超出正常值后相关系统自动关闭，并报警的功能；具有漏电保护功能；发生断电或掉电时除了冷却水主阀门外所有阀门将自动关闭；设备发生异常时有报警保护功能；机械部件、电气和电子部件、真空系统、膜厚监控系统、离子源系统等均有安全互锁功能。

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名称：混合离子束溅射薄膜沉积系统型号：Leybold Optics IBS1400 HT主要功能：全自动控制的离子束溅射镀膜系统，采用双离子束溅射沉积的方式，可镀制金属膜(如Al、Ta、Nb、Hf等) 、氧化物膜(如SiO2等）、氮化物/氟化物等。数量：1套主要参数：总损耗（吸收+散射+透射）≤20ppm（通过CRD测量），吸收损失≤10ppm（激光量热计测量），反射率(min)@1064nm≥99.998%。采购周期：14个月质保：终验收合格后至少提供12个月的质量保证期服务：卖方负责设备的安装、调试及培训，售后收到用户通知后24小时内予以答复。安全要求：具有水、气、压力、冷却水流量、水温超出正常值后相关系统自动关闭，并报警的功能；具有漏电保护功能；发生断电或掉电时除了冷却水主阀门外所有阀门将自动关闭；设备发生异常时有报警保护功能；机械部件、电气和电子部件、真空系统、膜厚监控系统、离子源系统等均有安全互锁功能。