北京薄膜沉积系统招标预告

采购需求概况应当包括：1.采购标的名称：高真空电子束蒸发薄膜沉积系统(薄膜沉积系统在正文或附件中)

达到实验需求。(薄膜沉积系统在正文或附件中)

真空电子束蒸发薄膜沉积系统1台套具体要求详见采购文件。(薄膜沉积系统在正文或附件中)

用于实现高质量的氧化物、氮化物及多元金属/化合物薄膜的制备工艺腔极限真空满足低于5E-8Torr基片...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

用于高端光学系统测试关键技术研究及仪器研制项目中光学元件的镀膜加工通过表面镀膜改善元件的光学性能减少...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

1.采购标的名称：高真空电子束蒸发薄膜沉积系统2.采购标的数量：1套3.采购标的需实现的主要功能或者...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

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样品最高加热温度高于800度样品台射频偏压清洗含两个射频源数量。(薄膜沉积系统在正文或附件中)

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薄膜尺寸：XY:100(薄膜沉积系统在正文或附件中)

薄膜尺寸：XY:100(薄膜沉积系统在正文或附件中)

科研(薄膜沉积系统在正文或附件中)

1.主要功能该设备用于硅通孔的侧壁镀膜连通使芯片的上下表面通过硅通孔进行导通能可以提高控制读取线的线...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

科研(薄膜沉积系统在正文或附件中)

1.玻璃通孔（TGV）的盲孔Cu电镀填充；2.玻璃通孔（TGV）的通孔Cu电镀填充。(薄膜沉积系统在正文或附件中)

1.尺寸：8英寸兼容6英寸；2、实现先进集成TSV/BUMP电化学薄膜沉积金属工艺；3、电化学薄膜沉...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

拟采购两台总预算金额2700万元。离子束溅射制备比例可调的混合氧化物薄膜；镀膜光学元件最大直径不小于...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

名称：混合离子束溅射薄膜沉积系统型号：Leybold(薄膜沉积系统在正文或附件中)

1.(薄膜沉积系统在正文或附件中)

采购标的名称：双离子源低应力高精密薄膜沉积系统主要功能：用于复杂结构形貌上的精确可控薄膜生长可精确调...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

拟采购多靶磁控溅射薄膜沉积系统1套可以完成突破三中纳米器件制备和阵列式系统集成低维压电材料体系的可控...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

高真空磁控溅射薄膜沉积系统(薄膜沉积系统在正文或附件中)

本次预采购一套高真空电子束蒸发薄膜沉积系统。可满足Cr、Ti、Au、Fe、Al、Ni等金属及合金在基...(薄膜沉积系统在正文或附件中)

1.线切割机9.6万元1台。功能：可实现导电材料的单段多次切割加工具备自动寻边、圆孔、槽、圆柱、内外...(薄膜沉积系统在正文或附件中)