清华大学2023年10月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积设备PECVD3腔其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
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清华大学2023年10月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积设备PECVD3腔其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
| 等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD3腔） | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD3腔） |
| 预算金额： | 3300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 能够进行二氧化硅、氮化硅沉积；片内均匀性＜±2%；片间均匀性＜±3%；可沉积最大8英寸基片。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD3腔） | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积设备（PECVD3腔） |
| 预算金额： | 3300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 能够进行二氧化硅、氮化硅沉积；片内均匀性＜±2%；片间均匀性＜±3%；可沉积最大8英寸基片。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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