中国科学院深海科学与工程研究所2023年11至12月政府采购意向-激光直写无掩膜光刻机采购项目工艺试验机-预算金额万元人民币
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中国科学院深海科学与工程研究所2023年11至12月政府采购意向-激光直写无掩膜光刻机采购项目工艺试验机-预算金额万元人民币
| 激光直写无掩膜光刻机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 深海科学与工程研究所2023年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 深海科学与工程研究所 |
| 采购项目名称： | 激光直写无掩膜光刻机采购项目 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况： | （1）极限最小特征尺寸=<0.6μm；（2）普通工艺条件的特征尺寸不低于1μm；（3）线宽均匀性[3σ，nm]>=200nm；（4）最大基板尺寸>=4英寸；（5）最大曝光速度不小于5mm2/min；（6）支持多种数据格式输入；（7）支持多种曝光模式；（8）套刻对准精度<=1000nm |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 激光直写无掩膜光刻机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 深海科学与工程研究所2023年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 深海科学与工程研究所 |
| 采购项目名称： | 激光直写无掩膜光刻机采购项目 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况： | （1）极限最小特征尺寸=<0.6μm；（2）普通工艺条件的特征尺寸不低于1μm；（3）线宽均匀性[3σ，nm]>=200nm；（4）最大基板尺寸>=4英寸；（5）最大曝光速度不小于5mm2/min；（6）支持多种数据格式输入；（7）支持多种曝光模式；（8）套刻对准精度<=1000nm |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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