复旦大学2023年11月政府采购意向-分子层沉积电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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复旦大学2023年11月政府采购意向-分子层沉积电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 分子层沉积 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 分子层沉积 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购两套分子层沉积设备，该设备由分子层沉积设备主机、反应腔、液态源管路系统、加热源管路系统、工艺真空泵等组件组成。其中第一套设备用于沉积氧化物High-K薄膜材料，在200mm的单面抛光硅晶圆上沉积50nm High-K薄膜材料的不均匀性低于1%。第二套设备用于高温沉积导电薄膜材料，在200mm的单面抛光硅晶圆上沉积50nm 导电薄膜材料的不均匀性低于4%。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 分子层沉积 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 分子层沉积 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购两套分子层沉积设备，该设备由分子层沉积设备主机、反应腔、液态源管路系统、加热源管路系统、工艺真空泵等组件组成。其中第一套设备用于沉积氧化物High-K薄膜材料，在200mm的单面抛光硅晶圆上沉积50nm High-K薄膜材料的不均匀性低于1%。第二套设备用于高温沉积导电薄膜材料，在200mm的单面抛光硅晶圆上沉积50nm 导电薄膜材料的不均匀性低于4%。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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