复旦大学2023年11月政府采购意向-溅射蒸发台电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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复旦大学2023年11月政府采购意向-溅射蒸发台电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 溅射蒸发台1 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 溅射蒸发台1 |
| 预算金额： | 360.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购一台磁控镀膜设备，用于生长高质量的金属和非金属薄膜材料。其用于支撑半导体先进镀膜工艺的教学及科研需求，主要由镀膜工艺腔、进样室、真空泵系统、真空测量系统、系统框架、磁控溅射系统、气路系统、控制系统等组成，主要参数包括但不限于：方箱型304不锈钢腔体，内部名义尺寸不小于380mm宽x 415mm长X600mm高；前级泵配置两台干泵，抽速不低于6.7cfm，正常运转时噪音不大于52db等。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 溅射蒸发台1 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 溅射蒸发台1 |
| 预算金额： | 360.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购一台磁控镀膜设备，用于生长高质量的金属和非金属薄膜材料。其用于支撑半导体先进镀膜工艺的教学及科研需求，主要由镀膜工艺腔、进样室、真空泵系统、真空测量系统、系统框架、磁控溅射系统、气路系统、控制系统等组成，主要参数包括但不限于：方箱型304不锈钢腔体，内部名义尺寸不小于380mm宽x 415mm长X600mm高；前级泵配置两台干泵，抽速不低于6.7cfm，正常运转时噪音不大于52db等。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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