中国科学院赣江创新研究院2024年3至5月政府采购意向-电子束物理气相沉积系统预算金额万元人民币
发送至邮箱
中国科学院赣江创新研究院2024年3至5月政府采购意向-电子束物理气相沉积系统预算金额万元人民币
| 电子束物理气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 赣 (略) 2024年3至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 赣 (略) |
| 采购项目名称： | 电子束物理气相沉积系统 |
| 预算金额： | 1150.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 1)主真空室：≥1000mm×500mm×500mm，极限真空度：8.0×10-3Pa；2)真空室压升率：≤2.5Pa/h；3)抽气速率：主真空室60分钟内达10-3Pa；4)配置3把以上电子束枪，可长时间稳定工作功率：0kW-40kW/枪；5)设备高压 0-20kV，束流 0-2A，工作中连续可调，具备高压稳压功能保证工艺的一致性；6)沉积涂层可装载工件旋转最大直径：300mm，工件水平传送轴采用波纹管密封，可以有效避免真空泄露，最大载荷:30kg,工件旋转速度：0-30rpm, 工件水平位移速度：0-200mm/min，工作中连续可调；靶材直径 70mm，长度不小于 300mm；7）满足蒸发沉积的需求溅射靶材：金属、合金、化合物、陶瓷等。 |
| 预计采购时间： | 2024-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束物理气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 赣 (略) 2024年3至5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 赣 (略) |
| 采购项目名称： | 电子束物理气相沉积系统 |
| 预算金额： | 1150.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况： | 1)主真空室：≥1000mm×500mm×500mm，极限真空度：8.0×10-3Pa；2)真空室压升率：≤2.5Pa/h；3)抽气速率：主真空室60分钟内达10-3Pa；4)配置3把以上电子束枪，可长时间稳定工作功率：0kW-40kW/枪；5)设备高压 0-20kV，束流 0-2A，工作中连续可调，具备高压稳压功能保证工艺的一致性；6)沉积涂层可装载工件旋转最大直径：300mm，工件水平传送轴采用波纹管密封，可以有效避免真空泄露，最大载荷:30kg,工件旋转速度：0-30rpm, 工件水平位移速度：0-200mm/min，工作中连续可调；靶材直径 70mm，长度不小于 300mm；7）满足蒸发沉积的需求溅射靶材：金属、合金、化合物、陶瓷等。 |
| 预计采购时间： | 2024-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
