东南大学2024年2至7月政府采购意向-碳化硅高温离子激活炉通用工业窑炉-预算金额万元人民币
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东南大学2024年2至7月政府采购意向-碳化硅高温离子激活炉通用工业窑炉-预算金额万元人民币
| 碳化硅高温离子激活炉 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2024年2至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 碳化硅高温离子激活炉 |
| 预算金额： | 900.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*通用工业窑炉 |
| 采购需求概况： | 1.兼容碳化硅和硅片，兼容大小平边，最大晶圆尺寸6″，向下兼容4″、2″及不规则小片2.具备高温下SiC的离子激活退火工艺与H2退火工艺，两种工艺只需切换工艺菜单，无需更换设备主要部件3.气路至少具备Ar、N2、CDA、H24.高温离子激活退火工艺后，激活的Al离子浓度最高大于1E18 cm-35.最高工作温度达2000℃，过冲温度≤5℃，控温精度1℃6.金属沾污：≤1.0E+11 atoms/cm27.颗粒度（增加值）：≤30ea（颗粒直径≥0.3μm）8.设备不漏气且不漏液，有H2检测传感器及泄露报警系统，有不间断电源、LED信号灯、急停按钮、漏液漏气报警等其他保护装置9.加热器寿命≥5年，Uptime≥93% |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 碳化硅高温离子激活炉 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2024年2至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 碳化硅高温离子激活炉 |
| 预算金额： | 900.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*通用工业窑炉 |
| 采购需求概况： | 1.兼容碳化硅和硅片，兼容大小平边，最大晶圆尺寸6″，向下兼容4″、2″及不规则小片2.具备高温下SiC的离子激活退火工艺与H2退火工艺，两种工艺只需切换工艺菜单，无需更换设备主要部件3.气路至少具备Ar、N2、CDA、H24.高温离子激活退火工艺后，激活的Al离子浓度最高大于1E18 cm-35.最高工作温度达2000℃，过冲温度≤5℃，控温精度1℃6.金属沾污：≤1.0E+11 atoms/cm27.颗粒度（增加值）：≤30ea（颗粒直径≥0.3μm）8.设备不漏气且不漏液，有H2检测传感器及泄露报警系统，有不间断电源、LED信号灯、急停按钮、漏液漏气报警等其他保护装置9.加热器寿命≥5年，Uptime≥93% |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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