东南大学2024年3至4月政府采购意向-晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
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东南大学2024年3至4月政府采购意向-晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统其他试验仪器及装置-预算金额万元人民币
| 晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2024年3至4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统 |
| 预算金额： | 800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 购置一套1.等离子体发生器、2 MHz射频发生器、精密气体输送系统、原位晶圆热映射模块、垂直晶圆的光学接口；2.晶圆加热器和自动化处理系统；3.可在4-6寸晶圆范围内连续、可靠地生长低维材料薄膜，并对表面态和缺陷密度等进行精准调控。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2024年3至4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统 |
| 预算金额： | 800.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况： | 购置一套1.等离子体发生器、2 MHz射频发生器、精密气体输送系统、原位晶圆热映射模块、垂直晶圆的光学接口；2.晶圆加热器和自动化处理系统；3.可在4-6寸晶圆范围内连续、可靠地生长低维材料薄膜，并对表面态和缺陷密度等进行精准调控。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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