中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向-原子层沉积系统其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向-原子层沉积系统其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 原子层沉积系统（ALD）可用于生长介质层材料，该系统通过将气相前驱体脉冲交替地通入ALD反应腔，分别化学吸附在衬底上反应生成薄膜材料，并且在前躯体脉冲之间须用惰性气体对ALD反应腔进行清洗。ALD反应器有多路独立的前驱体源管线的入口，可以同时配备多个前驱体源，包括室温液体源、加热源、等离子气体源、气体源。以实际公告为准。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 190.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 原子层沉积系统（ALD）可用于生长介质层材料，该系统通过将气相前驱体脉冲交替地通入ALD反应腔，分别化学吸附在衬底上反应生成薄膜材料，并且在前躯体脉冲之间须用惰性气体对ALD反应腔进行清洗。ALD反应器有多路独立的前驱体源管线的入口，可以同时配备多个前驱体源，包括室温液体源、加热源、等离子气体源、气体源。以实际公告为准。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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