中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向-低能高精度离子注入设备其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向-低能高精度离子注入设备其他电工、电子生产设备-预算金额万元人民币
| 低能高精度离子注入设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 低能高精度离子注入设备 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 高精度离子注入设备是一种低离子注入能量，高定位精度的新型离子掺杂设备。在未来二维微电子器件的工艺制造中是必不可少的先进装备。由于二维微电子材料只有几个原子层的厚度，离子能量过高则容易损伤或者刻蚀掉材料，因此采用传统的高能量离子注入设备无法对二维微电子材料进行掺杂。此外，二维微电子器件的结构非常复杂和精密，所以需要精确定点的对特定区域进行掺杂注入。提高注入精度也是微电子器件制造工艺的重大需求。总之，该设备是为微电子专线提精细离子注入掺杂等器件工艺能力的必需设备。以实际公告为准。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 低能高精度离子注入设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年4至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 采购项目名称： | 低能高精度离子注入设备 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况： | 高精度离子注入设备是一种低离子注入能量，高定位精度的新型离子掺杂设备。在未来二维微电子器件的工艺制造中是必不可少的先进装备。由于二维微电子材料只有几个原子层的厚度，离子能量过高则容易损伤或者刻蚀掉材料，因此采用传统的高能量离子注入设备无法对二维微电子材料进行掺杂。此外，二维微电子器件的结构非常复杂和精密，所以需要精确定点的对特定区域进行掺杂注入。提高注入精度也是微电子器件制造工艺的重大需求。总之，该设备是为微电子专线提精细离子注入掺杂等器件工艺能力的必需设备。以实际公告为准。 |
| 预计采购时间： | 2024-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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