中国科学院光电技术研究所2024年4至9月政府采购意向-激光直写设备工艺试验机-预算金额万元人民币
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中国科学院光电技术研究所2024年4至9月政府采购意向-激光直写设备工艺试验机-预算金额万元人民币
| 激光直写设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 光电技术研究所2024年4至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 激光直写设备 |
| 预算金额： | 582.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况： | 激光直写光刻设备能够实现投影光刻物理掩模的制备，精度较高，能够避免多套掩模之间的套刻对准环节。特征尺寸：300-600 nm，灰度曝光模式：>265灰度级；光源：300 mW，405 nm |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 激光直写设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 光电技术研究所2024年4至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 激光直写设备 |
| 预算金额： | 582.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况： | 激光直写光刻设备能够实现投影光刻物理掩模的制备，精度较高，能够避免多套掩模之间的套刻对准环节。特征尺寸：300-600 nm，灰度曝光模式：>265灰度级；光源：300 mW，405 nm |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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