2024年11月政府采购意向-管式PECVD详细情况万元人民币
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2024年11月政府采购意向-管式PECVD详细情况万元人民币
| 管式PECVD | |
| 项目所在采购意向： | (略) 宁波材料技术与工程研究所2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 宁波材料技术与工程研究所 |
| 采购项目名称： | 管式PECVD |
| 预算金额： | 250.#万元(人民币) |
| 采购品目： | 管式PECVD |
| 采购需求概况 ： | 1、兼容样品尺寸4*4cm，产能20-30片/管 2、成膜类型：氮化硅、非晶硅、氧化硅 3、极限真空度≤2Pa 4、温度控制范围350℃-600℃ 6、石墨舟清洗装置 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 管式PECVD | |
| 项目所在采购意向： | (略) 宁波材料技术与工程研究所2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 宁波材料技术与工程研究所 |
| 采购项目名称： | 管式PECVD |
| 预算金额： | 250.#万元(人民币) |
| 采购品目： | 管式PECVD |
| 采购需求概况 ： | 1、兼容样品尺寸4*4cm，产能20-30片/管 2、成膜类型：氮化硅、非晶硅、氧化硅 3、极限真空度≤2Pa 4、温度控制范围350℃-600℃ 6、石墨舟清洗装置 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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