2025年3至4月政府采购意向-超高真空物理气相沉积系统详细情况万元人民币
2025年3至4月政府采购意向-超高真空物理气相沉积系统详细情况万元人民币
超高真空物理气相沉积系统 | |
项目所在采购意向: | 清华大学2025年3至4月政府采购意向 |
采购单位: | 清华大学 |
采购项目名称: | 超高真空物理气相沉积系统 |
预算金额: | 250.#万元(人民币) |
采购品目: | A-货物#设备#机械设备#真空获得及应用设备#真空应用设备 |
采购需求概况 : | 在超高真空条件下,利用高速运动的氩离子轰击靶材,形成靶材成分的等离子体并沉积到靶材上方的衬底上,并进行原位真空退火等操作,完成超高真空镀膜。基础真空<10-10Torr,六个靶位,可进行8英寸、6英寸、4英寸、2英寸圆形衬底的直流和射频溅射,单个靶位可溅射功率直流不小于300W、射频不小于100W。 |
预计采购时间: | 2025-03 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
超高真空物理气相沉积系统 | |
项目所在采购意向: | 清华大学2025年3至4月政府采购意向 |
采购单位: | 清华大学 |
采购项目名称: | 超高真空物理气相沉积系统 |
预算金额: | 250.#万元(人民币) |
采购品目: | A-货物#设备#机械设备#真空获得及应用设备#真空应用设备 |
采购需求概况 : | 在超高真空条件下,利用高速运动的氩离子轰击靶材,形成靶材成分的等离子体并沉积到靶材上方的衬底上,并进行原位真空退火等操作,完成超高真空镀膜。基础真空<10-10Torr,六个靶位,可进行8英寸、6英寸、4英寸、2英寸圆形衬底的直流和射频溅射,单个靶位可溅射功率直流不小于300W、射频不小于100W。 |
预计采购时间: | 2025-03 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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