2025年3至4月政府采购意向-超高真空物理气相沉积系统详细情况万元人民币

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2025年3至4月政府采购意向-超高真空物理气相沉积系统详细情况万元人民币

超高真空物理气相沉积系统
项目所在采购意向: 清华大学2025年3至4月政府采购意向
采购单位: 清华大学
采购项目名称: 超高真空物理气相沉积系统
预算金额: 250.#万元(人民币)
采购品目:
A-货物#设备#机械设备#真空获得及应用设备#真空应用设备
采购需求概况 :
在超高真空条件下,利用高速运动的氩离子轰击靶材,形成靶材成分的等离子体并沉积到靶材上方的衬底上,并进行原位真空退火等操作,完成超高真空镀膜。基础真空<10-10Torr,六个靶位,可进行8英寸、6英寸、4英寸、2英寸圆形衬底的直流和射频溅射,单个靶位可溅射功率直流不小于300W、射频不小于100W。
预计采购时间: 2025-03
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,清华大学
超高真空物理气相沉积系统
项目所在采购意向: 清华大学2025年3至4月政府采购意向
采购单位: 清华大学
采购项目名称: 超高真空物理气相沉积系统
预算金额: 250.#万元(人民币)
采购品目:
A-货物#设备#机械设备#真空获得及应用设备#真空应用设备
采购需求概况 :
在超高真空条件下,利用高速运动的氩离子轰击靶材,形成靶材成分的等离子体并沉积到靶材上方的衬底上,并进行原位真空退火等操作,完成超高真空镀膜。基础真空<10-10Torr,六个靶位,可进行8英寸、6英寸、4英寸、2英寸圆形衬底的直流和射频溅射,单个靶位可溅射功率直流不小于300W、射频不小于100W。
预计采购时间: 2025-03
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,清华大学
    
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