一、采购单位：化学与 (略)

二、项目名称：等离子清洗机

三、公开信息：

1.货物名称：等离子清洗机

2.数量：2

3.关键技术指标：腔体材质：316 不锈 (略) 理 供电电源：AC220V 工作电流：整机工作电流不大于 1.2A(不含真空泵) 电源功率： 0-200W 旋钮可调,独立数字电源手自一体机，显示实际功率与反射 频率：13.56MHz（偏移量小于 0.2KHz） 频率偏移量：小于 0.2KHz 特性阻抗：50 欧姆，自动匹配 真空度：1pa-100Pa（压力表量化值显示） (略) 数：双路气体输入 气体流量：10—300ml/min ( LZB-3WB 玻璃转子流量计可调) 过程控制：PLC 人机界面自动与手动方式 清洗时间：1-9999 秒钟可调 功率大小：10%-100%可调 内腔尺寸： 直径150×深度270mm （5L 容量） 外形尺寸： 560 长 x540 宽 x550 高 mm （台式） 重量：45Kg 真空泵： 飞越VRD-4（含油雾过滤） 真空室温度：小于 65°C 冷却方式：强制风冷

4.预算金额：#

5.拟成交供应商： (略) (略)

6.拟成交价格：#

化学与 (略)

2024年11月02日

一、采购单位：化学与 (略)

二、项目名称：等离子清洗机

三、公开信息：

1.货物名称：等离子清洗机

2.数量：2

3.关键技术指标：腔体材质：316 不锈 (略) 理 供电电源：AC220V 工作电流：整机工作电流不大于 1.2A(不含真空泵) 电源功率： 0-200W 旋钮可调,独立数字电源手自一体机，显示实际功率与反射 频率：13.56MHz（偏移量小于 0.2KHz） 频率偏移量：小于 0.2KHz 特性阻抗：50 欧姆，自动匹配 真空度：1pa-100Pa（压力表量化值显示） (略) 数：双路气体输入 气体流量：10—300ml/min ( LZB-3WB 玻璃转子流量计可调) 过程控制：PLC 人机界面自动与手动方式 清洗时间：1-9999 秒钟可调 功率大小：10%-100%可调 内腔尺寸： 直径150×深度270mm （5L 容量） 外形尺寸： 560 长 x540 宽 x550 高 mm （台式） 重量：45Kg 真空泵： 飞越VRD-4（含油雾过滤） 真空室温度：小于 65°C 冷却方式：强制风冷

4.预算金额：#

5.拟成交供应商： (略) (略)

6.拟成交价格：#

化学与 (略)

2024年11月02日