一、合同编号： 无

二、合同名称： 晶圆缺陷检测分析系统升级改造

三、项目编号： (略)(略)

四、项目名称： 缺陷检测分析系统升级改造

五、合同主体

采购人（(略)方）： (略) 微电子研究所

地 址： (略) (略) (略) 3号

联系方式：010-(略)

供应商（(略)方）：无 (略)

地 址： (略) (略) 万达文化旅游城11-213

联系方式：0510-(略)

六、合同主要信息

主要标的名称：晶圆缺陷检测分析系统升级改造

规格型号（或服务要求）：晶圆缺陷检测分析系统KLA2139和缺陷数 (略) 理仪 KLA2552 由于长时间使用老化，系统反应速度慢，测片时经常卡片报警,升级改造后可将设备更好得投入关键工艺层缺陷的在线监控

主要标的数量：1

主要标的单价：(略).00

合同金额： 218.(略)万元

履约期限、地点等简要信息： (略) 微电子研究所

采购方式： 公开招标

七、合同签订日期： 2024-12-12

八、合同公告日期： 2025-01-08

九、其他补充事宜：

• 晶圆缺陷检测分析系统升级改造.pdf
  下载

免责声明：本页面提供的政府采购合同是按照《中华人民共和国政府采购法实施条例》的要求由采购人发布的，中国 (略) 对其内容概不负责，亦不承担任何法律责任。

一、合同编号： 无

二、合同名称： 晶圆缺陷检测分析系统升级改造

三、项目编号： (略)(略)

四、项目名称： 缺陷检测分析系统升级改造

五、合同主体

采购人（(略)方）： (略) 微电子研究所

地 址： (略) (略) (略) 3号

联系方式：010-(略)

供应商（(略)方）：无 (略)

地 址： (略) (略) 万达文化旅游城11-213

联系方式：0510-(略)

六、合同主要信息

主要标的名称：晶圆缺陷检测分析系统升级改造

规格型号（或服务要求）：晶圆缺陷检测分析系统KLA2139和缺陷数 (略) 理仪 KLA2552 由于长时间使用老化，系统反应速度慢，测片时经常卡片报警,升级改造后可将设备更好得投入关键工艺层缺陷的在线监控

主要标的数量：1

主要标的单价：(略).00

合同金额： 218.(略)万元

履约期限、地点等简要信息： (略) 微电子研究所

采购方式： 公开招标

七、合同签订日期： 2024-12-12

八、合同公告日期： 2025-01-08

九、其他补充事宜：

• 晶圆缺陷检测分析系统升级改造.pdf
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