中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十批--非掺杂多晶硅生长机国际招标澄清或变更公告(1)
中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十批--非掺杂多晶硅生长机国际招标澄清或变更公告(1)
澄清或变更简要说明:投标截止时间(开标时间)更改为 * 日9: * 分( (略) 时间)
(略) (略) ,于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造( (略) )有限公司计划为中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线购买 * 批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
(略) 条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>>
招标项目名称:中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线项目第 * 十批--非掺杂多晶硅生长机
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 低压多晶硅生长机 | 1 | 利用SIH4和PH3 共同做 * 下生成多晶硅薄膜层 | / |
2 | 低压退火设备 | 1 | 实现鼓状晶圆快速退火,修复表面晶格损伤,均匀性好 | / |
3 | 硼磷氧化扩散炉 | 1 | 实现硼磷氧化扩散,均匀性好 | / |
4 | 氮化硅生长机 | 1 | 实现氮化硅生长,均匀性好 | / |
5 | 非掺杂多晶硅生长机 | 1 | 实现非掺杂多晶硅生长,修复表面晶格损伤,均匀性好 | / |
6 | 氧化物薄膜生长机 | 3 | 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 | / |
7 | 栅氧化薄膜生长机 | 2 | 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 | / |
8 | 基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射层设备 | 1 | PEOX/SIN/DRAC Dep | / |
9 | 基于硅烷的氧化物/氮化物设备 | 1 | PEOX/SIN Dep | / |
* | 基于TEOS的化学气相沉积 | 1 | TEOS Dep | / |
* | 次常压化学气相沉积 | 1 | SACVD Dep | / |
* | 次常压化学气相沉积 | 1 | SACVD Dep | / |
* | 离子束去平机 | 1 | 金属膜离子束去平 | / |
* | 高真空离子镀膜金属溅射机 | 1 | AIN & Mo Metal Dep | / |
* | 物理气象沉积机 | 1 | 物理气象沉积/Metal Dep | / |
* | 光刻胶烘烤设备 | 1 | 实现光刻胶烘烤 | / |
* | 光刻显影设备 | 1 | 实现光刻显影 | / |
* | 光刻涂布设备 | 1 | 实现光刻涂布 | / |
澄清或变更简要说明:投标截止时间(开标时间)更改为 * 日9: * 分( (略) 时间)
(略) (略) ,于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造( (略) )有限公司计划为中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线购买 * 批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
(略) 条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>>
招标项目名称:中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线项目第 * 十批--非掺杂多晶硅生长机
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 低压多晶硅生长机 | 1 | 利用SIH4和PH3 共同做 * 下生成多晶硅薄膜层 | / |
2 | 低压退火设备 | 1 | 实现鼓状晶圆快速退火,修复表面晶格损伤,均匀性好 | / |
3 | 硼磷氧化扩散炉 | 1 | 实现硼磷氧化扩散,均匀性好 | / |
4 | 氮化硅生长机 | 1 | 实现氮化硅生长,均匀性好 | / |
5 | 非掺杂多晶硅生长机 | 1 | 实现非掺杂多晶硅生长,修复表面晶格损伤,均匀性好 | / |
6 | 氧化物薄膜生长机 | 3 | 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 | / |
7 | 栅氧化薄膜生长机 | 2 | 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 | / |
8 | 基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射层设备 | 1 | PEOX/SIN/DRAC Dep | / |
9 | 基于硅烷的氧化物/氮化物设备 | 1 | PEOX/SIN Dep | / |
* | 基于TEOS的化学气相沉积 | 1 | TEOS Dep | / |
* | 次常压化学气相沉积 | 1 | SACVD Dep | / |
* | 次常压化学气相沉积 | 1 | SACVD Dep | / |
* | 离子束去平机 | 1 | 金属膜离子束去平 | / |
* | 高真空离子镀膜金属溅射机 | 1 | AIN & Mo Metal Dep | / |
* | 物理气象沉积机 | 1 | 物理气象沉积/Metal Dep | / |
* | 光刻胶烘烤设备 | 1 | 实现光刻胶烘烤 | / |
* | 光刻显影设备 | 1 | 实现光刻显影 | / |
* | 光刻涂布设备 | 1 | 实现光刻涂布 | / |
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