中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十批--非掺杂多晶硅生长机国际招标澄清或变更公告(1)

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中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十批--非掺杂多晶硅生长机国际招标澄清或变更公告(1)



澄清或变更简要说明:投标截止时间(开标时间)更改为 * 日9: * 分( (略) 时间)
(略) (略) ,于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造( (略) )有限公司计划为中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线购买 * 批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
(略) 条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>>
招标项目名称:中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线项目第 * 十批--非掺杂多晶硅生长机
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号 产品名称 数量 简要技术规格备注
1 低压多晶硅生长机 1 利用SIH4和PH3 共同做 * 下生成多晶硅薄膜层/
2 低压退火设备 1 实现鼓状晶圆快速退火,修复表面晶格损伤,均匀性好/
3 硼磷氧化扩散炉 1 实现硼磷氧化扩散,均匀性好/
4 氮化硅生长机 1 实现氮化硅生长,均匀性好/
5 非掺杂多晶硅生长机 1 实现非掺杂多晶硅生长,修复表面晶格损伤,均匀性好/
6 氧化物薄膜生长机 3 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层/
7 栅氧化薄膜生长机 2 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层/
8 基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射层设备 1 PEOX/SIN/DRAC Dep/
9 基于硅烷的氧化物/氮化物设备 1 PEOX/SIN Dep/
* 基于TEOS的化学气相沉积 1 TEOS Dep/
* 次常压化学气相沉积 1 SACVD Dep/
* 次常压化学气相沉积 1 SACVD Dep/
* 离子束去平机 1 金属膜离子束去平/
* 高真空离子镀膜金属溅射机 1 AIN & Mo Metal Dep/
* 物理气象沉积机 1 物理气象沉积/Metal Dep/
* 光刻胶烘烤设备 1 实现光刻胶烘烤/
* 光刻显影设备 1 实现光刻显影/
* 光刻涂布设备 1 实现光刻涂布/

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)具有独立的法人资格,相应的经营范围。投标方应具有正规 (略) 、 (略) 及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2)投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点: (略) 有限公司
招标文件售价:¥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间): 点击查看>> * : *
投标文件送达地点: (略) 市 (略) 路 * (略) * 楼
开标地点: (略) 市 (略) 路 * (略) * 楼
6、投标人在投标 (略) (https:/ 点击查看>> ) (略) 投标电子交易平台(https://)完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造( (略) )有限公司
地址:中国 (略) (略) 区皋埠镇 (略) 路 * 号
联系人:李晓玲
联系方式: 点击查看>> *
招标代理机构: (略) 有限公司
地址: (略) 市 (略) 路 * 号恒达大厦 * 楼
联系人:王鼎 应秋祺 潘永亮
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):


澄清或变更简要说明:投标截止时间(开标时间)更改为 * 日9: * 分( (略) 时间)
(略) (略) ,于 点击查看>> - (略) 。 (略) 方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造( (略) )有限公司计划为中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线购买 * 批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
(略) 条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号: 点击查看>>
招标项目名称:中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线项目第 * 十批--非掺杂多晶硅生长机
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号 产品名称 数量 简要技术规格备注
1 低压多晶硅生长机 1 利用SIH4和PH3 共同做 * 下生成多晶硅薄膜层/
2 低压退火设备 1 实现鼓状晶圆快速退火,修复表面晶格损伤,均匀性好/
3 硼磷氧化扩散炉 1 实现硼磷氧化扩散,均匀性好/
4 氮化硅生长机 1 实现氮化硅生长,均匀性好/
5 非掺杂多晶硅生长机 1 实现非掺杂多晶硅生长,修复表面晶格损伤,均匀性好/
6 氧化物薄膜生长机 3 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层/
7 栅氧化薄膜生长机 2 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层/
8 基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射层设备 1 PEOX/SIN/DRAC Dep/
9 基于硅烷的氧化物/氮化物设备 1 PEOX/SIN Dep/
* 基于TEOS的化学气相沉积 1 TEOS Dep/
* 次常压化学气相沉积 1 SACVD Dep/
* 次常压化学气相沉积 1 SACVD Dep/
* 离子束去平机 1 金属膜离子束去平/
* 高真空离子镀膜金属溅射机 1 AIN & Mo Metal Dep/
* 物理气象沉积机 1 物理气象沉积/Metal Dep/
* 光刻胶烘烤设备 1 实现光刻胶烘烤/
* 光刻显影设备 1 实现光刻显影/
* 光刻涂布设备 1 实现光刻涂布/

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)具有独立的法人资格,相应的经营范围。投标方应具有正规 (略) 、 (略) 及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2)投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: 点击查看>>
招标文件领购结束时间: 点击查看>>
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点: (略) 有限公司
招标文件售价:¥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间): 点击查看>> * : *
投标文件送达地点: (略) 市 (略) 路 * (略) * 楼
开标地点: (略) 市 (略) 路 * (略) * 楼
6、投标人在投标 (略) (https:/ 点击查看>> ) (略) 投标电子交易平台(https://)完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造( (略) )有限公司
地址:中国 (略) (略) 区皋埠镇 (略) 路 * 号
联系人:李晓玲
联系方式: 点击查看>> *
招标代理机构: (略) 有限公司
地址: (略) 市 (略) 路 * 号恒达大厦 * 楼
联系人:王鼎 应秋祺 潘永亮
联系方式: 点击查看>>
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):
    
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