湖北省恒温恒湿微污处理系统国际招标澄清或变更公告3/03包
湖北省恒温恒湿微污处理系统国际招标澄清或变更公告3/03包
澄清或变更简要说明:技术有变更,详见招标文件
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-08-09在发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:恒温恒湿微污处理系统 6台
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-*/03
招标项目名称:恒温恒湿微污处理系统
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 恒温恒湿微污处理系统 | 6台 | (1)主要在曝光机进风口前及lamp house外围,增加一套过滤系统,能够有效去除PGMEA及酸碱气体,保证进入曝光机内部气体的洁净度,避免镜组受雾化。(2)操作模式:具备自动模式和手动模式。(3)具备互锁功能。 | 0730-*/03 |
澄清或变更简要说明:技术有变更,详见招标文件
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-08-09在发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:恒温恒湿微污处理系统 6台
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-*/03
招标项目名称:恒温恒湿微污处理系统
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 恒温恒湿微污处理系统 | 6台 | (1)主要在曝光机进风口前及lamp house外围,增加一套过滤系统,能够有效去除PGMEA及酸碱气体,保证进入曝光机内部气体的洁净度,避免镜组受雾化。(2)操作模式:具备自动模式和手动模式。(3)具备互锁功能。 | 0730-*/03 |
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