上海市等离子体气相沉积设备旧机国际招标澄清或变更公告2/03包
上海市等离子体气相沉积设备旧机国际招标澄清或变更公告2/03包
澄清或变更简要说明:投标文件递交截止时间及开标时间变更为:2023-12-28 09:30
商务有变更,详见招标文件
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-12-12在发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:等离子体气相沉积设备(旧机) 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-*/03
招标项目名称:等离子体气相沉积设备(旧机)
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 等离子体气相沉积设备(旧机) | 1台 | (1)PECVD—等离子体化学气相沉积的主要原理是借助射频使化学反应气体在工艺腔内解离,在局部形成等离子体。(2)在SiNx3000 /a-Si 2000 /n+a-Si 500 膜层厚度条件下:产能: ≥20片/小时 (PECVD-三层膜) 或同目前量产腔体(3)在SiNx5000 膜层厚度条件下:产能: ≥ 25片/小时 (PECVD-一层膜) 或同目前量产腔体 | 0730-*/03 |
澄清或变更简要说明:投标文件递交截止时间及开标时间变更为:2023-12-28 09:30
商务有变更,详见招标文件
中航技 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-12-12在发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:等离子体气相沉积设备(旧机) 1台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-*/03
招标项目名称:等离子体气相沉积设备(旧机)
项目实施地点: (略)
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 等离子体气相沉积设备(旧机) | 1台 | (1)PECVD—等离子体化学气相沉积的主要原理是借助射频使化学反应气体在工艺腔内解离,在局部形成等离子体。(2)在SiNx3000 /a-Si 2000 /n+a-Si 500 膜层厚度条件下:产能: ≥20片/小时 (PECVD-三层膜) 或同目前量产腔体(3)在SiNx5000 膜层厚度条件下:产能: ≥ 25片/小时 (PECVD-一层膜) 或同目前量产腔体 | 0730-*/03 |
最近搜索
无
热门搜索
无