安徽省8英寸MEMS晶圆生产线之快速退火炉国际招标澄清或变更公告1/02包
安徽省8英寸MEMS晶圆生产线之快速退火炉国际招标澄清或变更公告1/02包
澄清或变更简要说明:变更招标文件
苏美达 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-30在发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:设备名称:快速退火炉
设备数量:1台
设备用途:主要用于硅晶圆的离子注入后快速退火工艺。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF28/02
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之快速退火炉
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 快速退火炉 | 1 | 片内均匀性:≤1.5%。其他参数详见第八章 | 无 |
澄清或变更简要说明:变更招标文件
苏美达 (略) 受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2024-04-30在发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:设备名称:快速退火炉
设备数量:1台
设备用途:主要用于硅晶圆的离子注入后快速退火工艺。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2440SUMECF28/02
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之快速退火炉
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 快速退火炉 | 1 | 片内均匀性:≤1.5%。其他参数详见第八章 | 无 |
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