中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第二十五批--KGD分选机国际招标公告(2)
中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第二十五批--KGD分选机国际招标公告(2)
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2020-10-14在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-********4041/02
招标项目名称:中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第二十五批--KGD分选机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 超声波扫描显微镜 | 1 | 1.XY 轴机械重复定位精度:± 0.1um 2.左右并列每个探头 XY 方向 扫描范围:≥ 150 * 150 mm3.每个 Z 轴行程:0-70mm4.图像分辨率: 最小: 50 x 50 像素最大 32,000 x 32,000 像素, 精度最小 0.5um 像素; | / |
2 | KGD分选机 | 1 | 实现Power类KGD测试Handling。1)Input: 8 inch framed wafer2)Output: Tape & Reel3)Test Station: 4pcs4)Visual Inspection: 6S vision inspection5)Support Laser Mark6)Detape: Yes7)可选配IR隐裂检查 | / |
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