超声波扫描显微镜国际招标公告(2)
超声波扫描显微镜国际招标公告(2)
项目名称:超声波扫描显微镜国际招标公告(2)
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2021-01-06在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-********5726/02
招标项目名称:超声波扫描显微镜
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 晶圆清洗机 | 3 | 1.实现55纳米级别清洗2.去除颗粒能力强 | / |
2 | 超声波扫描显微镜 | 2 | 1.XY 轴机械重复定位精度:± 0.1um 2.一前一后每个探头XY方向最大扫描范围: 320 * 320 mm3.每个 Z 轴行程:0-100mm4.图像分辨率: 最小: 50 x 50 像素最大 32,000 x 32,000 像素, 精度最小 0.5um 像素;在输入扫描面积和每个像素的分辨尺寸后,软件自 动计算图像分辨率; | |
3 | 全自动晶圆切割机 | 7 | 全自动晶圆切割机/Auto Wafer Dicing |
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