等离子增强化学气相沉积设备制程腔国际招标公告(1)
等离子增强化学气相沉积设备制程腔国际招标公告(1)
中航技国际经贸发展有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2021-01-26在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:等离子增强化学气相沉积设备制程腔4台
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****-********0009/01
招标项目名称:等离子增强化学气相沉积设备制程腔
项目实施地点:中国湖北省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 等离子增强化学气相沉积设备制程腔 | 4台 | (1)所购 PECVD系统主要用于OLED的薄膜封装。(2)满足薄膜封装装置配套(3)膜层成膜温度:SiNx、SiON、SiOx、成膜温度 80℃~100℃ | ****-********0009/01 |
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