低压多晶硅掺氧生长机/氮化硅生长机招标公告
低压多晶硅掺氧生长机/氮化硅生长机招标公告
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2021-06-10在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司计划为中芯绍兴Housing、DFN、IPM、特种晶圆工艺生产线购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-214522152383/04
招标项目名称:低压多晶硅掺氧生长机/ 氮化硅生长机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 真空焊接炉(焊膏) | 1 | 1.配置3个预热区,1个恒温区,1个高温区,4个冷却区2.配置1个真空腔体及真空泵3.加热降温温度监控及产品温度监控4.配置助焊剂回收过滤系统 | / |
2 | Clip 装片机 | 2 | 1.满足焊锡膏点胶,芯片和铜片装片。 | / |
3 | 功率模块测试分选机 | 1 | 配置Tube上料→ISO Test→高温Test→常温Test→Vision→TapeReel/Tube下料 | / |
4 | 低压多晶硅掺氧生长机/ 氮化硅生长机 | 2 | 通过SIH4 和O2 掺杂生成掺氧多晶硅 通过DCS 和NH3 反应生成氮化硅膜 | / |
招标
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