全自动分子束外延系统采购项目国际招标公告(2)
全自动分子束外延系统采购项目国际招标公告(2)
江苏省设备成套股份有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2022-01-30在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:全自动分子束外延系统采购项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0660-2240GMS90109
招标项目名称:全自动分子束外延系统采购项目
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 8英寸全自动分子束外延系统 | 1台/套 | 8英寸全自动生产型的MBE系统。晶片通过中心分配室(CDC)全自动的传递,一次最多可处理4片(4英寸)晶片。CDC可以同时连接两个生长室,一个进样室,一个超高真空存储室,和一个高温处理室。1)提供成本最低的 4 x 4" 晶圆片生长2) 模块化体系结构的系统占用空间明显小于同类 MBE 系统3) 最多支持两个生长模块,提高了产量或允许生长不兼容材料包含行业内最具创新性的可靠系统硬件、源和组件 | |
2 | 8英寸全自动分子束外延系统 | 1台/套 | 8英寸全自动生产型的MBE系统。晶片通过中心分配室(CDC)全自动的传递,一次最多可处理4片(4英寸)晶片。CDC可以同时连接两个生长室,一个进样室,一个超高真空存储室,和一个高温处理室。1) 提供成本最低的 4 x 4" 晶圆片生长2) 模块化体系结构的系统占用空间明显小于同类 MBE 系统3) 最多支持两个生长模块,提高了产量或允许生长不兼容材料包含行业内最具创新性的可靠系统硬件、源和组件 | |
3 | 4英寸全自动分子束外延系统 | 1台/套 | 4英寸全自动生产型的MBE系统。晶片通过中心分配室(CDC)全自动的传递,一次最多可处理1片(4英寸)晶片。CDC可以同时连接两个生长室,一个进样室,一个超高真空存储室,和一个高温处理室。1) 提供成本最低的 1 x 4" 晶圆片生长2) 模块化体系结构的系统占用空间明显小于同类 MBE 系统3) 最多支持两个生长模块,提高了产量或允许生长不兼容材料4) 可选隔板安装,优化了清洁室空间包含行业内最具创新性的可靠系统硬件、源和组件 |
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