福建省福联集成电路有限公司2022年镭射切割机设备采购项目国际招标公告(1)
福建省福联集成电路有限公司2022年镭射切割机设备采购项目国际招标公告(1)
福建省机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2022-02-11在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:福建省福联集成电路有限公司2022年镭射切割机设备采购项目,招标人为福建省福联集成电路有限公司,项目资金为企业自筹,委托的招标代理单位为福建省机电设备招标有限公司。本项目已具备招标条件,现对该项目进行国际公开招标,邀请合格投标人就本项目下列货物和有关服务提交密封投标。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:****-********5003
招标项目名称:福建省福联集成电路有限公司2022年镭射切割机设备采购项目
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 镭射切割机 | 1台套 | 镭射切割机主要使用激光束将晶圆片切割成各个晶粒;1.一套传送机构及系统,配备传送robot,可传送贴有150mm wafer的8 inch metal frame;2.配置有剂量泵控制表面保护液喷涂流速及喷涂量,流速调整区间应覆盖0ml/s~10ml/s,该模组有回吸功能及auto purge功能;3.载台转速调整区间应覆盖0 rpm ~ 2000 rpm,支持加速度调节;4.切割载台有效行程≥380mm,Position detection resolution≤25nm,Overall position accuracy360deg;5.有两处独立的metal cassette载台;其余技术参数详见第八章货物需求一览表及技术规格。 |
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