中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所TEOS氧化硅化学气相沉积采购项目国际招标公告(1)
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所TEOS氧化硅化学气相沉积采购项目国际招标公告(1)
东方国际招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2022-11-23在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1: TEOS氧化硅化学气相沉积 1套
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0729-224OIT******/04
招标项目名称:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所TEOS氧化硅化学气相沉积采购项目
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | TEOS氧化硅化学气相沉积 | 1套 | 本设备用于150mm和200mm样品的氮化硅、低应力氮化硅、多晶硅、原位掺磷多晶硅、TEOS SiO2和BPSG等薄膜材料的化学气相沉积工艺。 | 合同签订后12个月内 |
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