上海交通大学单片晶圆清洗机国际招标公告(1)
上海交通大学单片晶圆清洗机国际招标公告(1)
中金招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2022-12-02在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:上海交通大学拟采购1套单片晶圆清洗机,可实现光刻胶有机溶剂显影、金属剥离、临时键合解键后清洗等。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0773-2241SHHW0172/06
招标项目名称:上海交通大学单片晶圆清洗机
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 单片晶圆清洗机 | 1套 | 1.独立式兆声清洗,化学试剂清洗,PVA刷子清洗以及旋转甩干的一体式兆声无损清洗系统,可以用于晶圆的清洗,去胶和剥离工艺的应用。化学试剂和PVA刷子清洗以及旋转甩干等功能,用于掩膜版的兆声清洗工艺。用于4”, 6”和8”晶圆的清洗,完全的安全联锁;其余详见“第八章货物需求一览表及技术规格”。 | 预算金额:人民币130.00万元。最高限价:本项目最高投标价格为130.00万元人民币交货期:合同签订后 5 个月以内交付地点:上海交通大学用户指定地点 |
标签: 单片晶圆清洗
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