等离子体化学气相沉积设备国际招标公告(2)
等离子体化学气相沉积设备国际招标公告(2)
中航技国际经贸发展有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2022-12-13在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:等离子体化学气相沉积设备 14台
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0730-224*****0568/25
招标项目名称:等离子体化学气相沉积设备
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 等离子体化学气相沉积设备 | 14台 | (1)在平板液晶显示器工业中,PECVD(等离子增强型化学气相沉积)工艺用于形成栅绝缘层、刻蚀阻挡层、非晶硅有源层、和钝化层薄膜;(2)基板尺寸:2250mm(W)×2600mm(L);基板厚度:0.38mm~0.7mm(3)每台机台配置1个装卸腔,1个传送腔,5个工艺腔。 | 0730-224*****0568/25 |
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